侦测晶圆位置的方法及设备.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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侦测晶圆位置的方法及设备.pdf

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一种侦测晶圆位置的方法和系统。旋转台以较快的转速在一方向上旋转，以带动被放置在旋转台上且外缘包含对位特征的待测晶圆旋转，同时侦测器侦测待测晶圆的外缘，以产生侦测结果给控制器，每一侦测结果对应旋转台的一旋转角度。当对位特征经过侦测器后，旋转台以较慢的转速反向旋转，以带动待测晶圆反向旋转，同时侦测器侦测反向旋转的待测晶圆的外缘，以产生侦测结果给控制器。当对位特征再次经过侦测器时，旋转台停止旋转，控制器根据累积的侦测结果和对应的旋转角度，推估待测晶圆的偏心位置以及对位特征的位置。由此节省侦测时间。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114171417 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202010945511.6 (22)申请日 2020.09.10 (71)申请人上银科技股份有限公司