一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用.pdfVIP

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  • 2023-04-27 发布于北京
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一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用.pdf

本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用,其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件;所述外壳体的内腔为一级真空腔体,所述内壳体的内腔为二级真空腔体,所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接;所述内壳体设置在所述一级真空腔体中,所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件,所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部,所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上;所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114130045 A (43)申请公布日 2022.03.04 (21)申请号 202111526817.9 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人 季华实验室 地址 5

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