衬底处理装置及其联锁方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于四川
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衬底处理装置及其联锁方法.pdf

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本发明涉及衬底处理装置及其联锁方法，该衬底处理装置在处理腔中上电极或下电极的温度超过用户设定的范围时生成联锁信号，以阻止将RF功率施加到衬底处理装置。通过根据本发明的衬底处理装置及其联锁方法，在上电极的温度、下电极的温度、温度之差、电极间距离以及各电极的电阻值超出用户设定的范围的紧急状况中，能够生成联锁信号和警报以阻止将RF功率施加到衬底处理装置。因此，可以防止由RF功率引起的损坏，由此可以保护设备并且保持沉积在衬底上的薄膜的均匀性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114175209 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202080054134.5 (74)专利代理机构北京弘权知识产权代理有限