集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置及控制方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置及控制方法.pdf

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本发明提供一种集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置及控制方法，试验装置包括试验箱、承载台、信号采集箱和喷淋组件。承载台设于实验腔内，承载台上设有多个芯片，信号采集箱设于实验腔内，承载台设于信号采集箱的上端面，信号采集箱内设有多个万用表，万用表用于采集芯片的电学信号，万用表和显示面板通讯连接，显示面板用于显示电学信号，喷头位于对应的芯片上方，用于向芯片喷淋盐雾。本发明提供的集成电路盐雾腐蚀可靠性试验装置，通过设置万用表用以采集芯片的电学信号，并且通过实时采集，还可以得到腐蚀程度随时间变化的曲线，可以得到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167255 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111362355.1 (22)申请日 2021.11.17 (71)申请人中车工业研究院有限公司