异物去除装置、光刻装置以及物品制造方法.pdfVIP

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2023-04-27 发布于四川
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异物去除装置、光刻装置以及物品制造方法.pdf

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本发明提供异物去除装置、光刻装置以及物品制造方法。提供有利于同时达成生产性和异物去除性能的技术。去除异物的异物去除装置具有保持物体并移动的保持部、接近上述保持部地配置并使气体在内部流通的流路、以及设在上述流路的内部并形成上述流路的内部的气流的气流形成部，在构成上述流路的周壁的流路构件上，形成有将上述流路的外部与内部连通的狭缝，上述气流形成部形成使异物经由上述狭缝被吸入上述流路的内部那样的气流。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167688 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111036217.4 (22)申请日 2021.09.06 (30)优先权数据 2020-1531