等离子体处理的离子能量分析装置.pdfVIP

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2023-04-27 发布于北京
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等离子体处理的离子能量分析装置.pdf

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一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布(IED)测量值的装置，该装置包括用于放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体的基板、布置在基板中用于在等离子体处理期间测量基板表面处的离子能量分布的离子能量分析仪，分析仪包括第一导电栅极G0、第二导电栅极G1、第三导电栅极G2、第四导电栅极G3和集电极C，每个栅极由集成在基板中的绝缘层、电池电源和控制电路隔开，用于向离子能量分析仪的每个栅极和集电极提供和控制电压；其中，至少一个绝缘层包括相对于绝缘层的剩余部分厚度减小的外围部分。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167482 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111298787.0 (22)申请日 2021.09.10 (30)优先权数据