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用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统.pdfVIP

用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统.pdf

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    本揭露涉及一种用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统。所述用于测量环境静电的装置包括静电计、导电板及切换器。所述静电计包括传感器。所述导电板相距所述静电计一定距离设置且对准所述静电计的所述传感器。所述切换器与所述导电板电连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167153 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202010946765.X (22)申请日 2020.09.10 (71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司

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