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本发明公开一种过滤装置和半导体工艺设备,涉及半导体制造技术领域。该过滤装置包括壳体和过滤组件,壳体具有第一容纳腔、第二容纳腔、第一进气口和第一排气口。过滤组件设置于第一容纳腔内。过滤组件与壳体之间形成第一气流通道。第一进气口与第一气流通道连通且用于通入半导体设备的尾气。第一气流通道通过过滤组件与第一排气口连通。第二容纳腔围绕第一容纳腔设置,且第二容纳腔用于容纳冷却液。该过滤装置能解决半导体制造工艺过程中产生的尾气容易在排放过程中沉积,影响排气效率的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114146505 A
(43)申请公布日 2022.03.08
(21)申请号 202111437092.6
(22)申请日 2021.11.29
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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