一种整板晶体微调方法及系统.pdfVIP

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2023-04-27 发布于四川
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一种整板晶体微调方法及系统.pdf

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本发明公开了一种整板晶体微调方法，首先对待刻蚀基板所有位置产品进行频率测量，利用网络将产品数据传至服务器；然后微调机对待刻蚀基板测量，读取服务器该基板测试位置产品的2#频率信息，计算出差值写入动态库；微调机根据自身测量值和前述差值进行频率调整；本方案1、使得产线可以柔性化生产，一台设备同时加工不同频率、负载晶体；2、解决了探针两次接触带来的测试随机偏差问题；3、解决了微调机工作环境对测试的系统误差问题；4、不需要在微调机上对标晶，从而提高生产效率。本发明还公开了一种对整板晶体微调的系统。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114172479 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111683067.6 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人四川明德亨电子科技有限公司