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- 2023-04-27 发布于北京
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一种改变衬底蚀刻过程的蚀刻参数的方法，所述方法包括：在蚀刻之前进行与衬底上的结构相关的第一度量的第一测量；在蚀刻之后进行与衬底上的结构相关的第二度量的第二测量；以及基于所述第一测量与所述第二测量之间的差改变所述蚀刻参数。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114137803 A
(43)申请公布日 2022.03.04
(21)申请号 202111513976.5 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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