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一种射频(RF)功率产生器，其适用于耦合至多站式集成电路制造室，该射频功率产生器可以包含：振荡器，其提供周期性信号；以及一个以上的前置放大器，其各自具有用于从该振荡器接收信号的输入端口以及具有用于提供放大信号的输出端口。该RF产生器可额外包含一个以上的恒定增益放大器，其各自具有用于从该一个以上的前置放大器接收信号的输入端口、以及输出端口，该输出端口被配置成将放大信号耦合至电极以在该多站式集成电路制造室的指定的站中产生等离子体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114207770 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202080056165.4 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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