一种压电衬底的制备方法、压电衬底及声波器件.pdfVIP

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2023-04-28 发布于北京
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一种压电衬底的制备方法、压电衬底及声波器件.pdf

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本发明涉及声波器件技术领域，特别涉及一种压电衬底的制备方法、压电衬底及声波器件。方法包括：获取支撑衬底；在支撑衬底上制作载流子俘获层；在载流子俘获层上制作介质层；在介质层上制作压电薄膜层；其中，支撑衬底靠近载流子俘获层的表面为第一表面，介质层靠近载流子俘获层的表面为第二表面；在介质层上制作压电薄膜层之前还包括在第一表面与第二表面之间制作散射界面，散射界面用于散射杂波。载流子俘获层可以有效抑制表面寄生电导效应，防止衬底的电阻率下降，从而改善压电衬底的损耗和失真。散射界面可以有效抑制声波器件中由多层

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114189224 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111432984.7 (22)申请日 2021.11.29 (71)申请人上海新硅聚合半导体有限公司