一种闪耀光栅的制备方法.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种闪耀光栅的制备方法.pdf

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本发明提供一种闪耀光栅的制备方法，该闪耀光栅的制备方法包括：在基材上制作第一掩模；采用第一入射角对所述第一掩模进行离子束倾斜刻蚀，得到第二掩模；采用第二入射角对所述第二掩模进行离子束倾斜刻蚀，得到闪耀光栅。该方法通过第一次离子束刻蚀得到第二掩模，通过控制第一次离子束入射角来控制第二掩模的底角，从而控制闪耀光栅的某一底角；再通过对第二掩模进行离子束刻蚀得到闪耀光栅，通过控制第二次离子束入射角来控制闪耀光栅的另一底角。因此，可以实现对闪耀光栅的第一底角和第二底角的同时控制，可以提高设计的自由度，有利

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114185122 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202210072723.7 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人北京至格科技有限公司