一种倾斜检测装置、方法和机械臂系统.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种倾斜检测装置、方法和机械臂系统.pdf

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本发明涉及一种倾斜检测装置、方法和机械臂系统，属于测量技术领域，解决了现有在晶圆持续性的移动时，发现承载结构问题的时机点通常都是在晶圆损坏以及刮伤或工艺不良(边缘低良率)发生后的问题。倾斜检测装置包括：待测对象，放置在机械臂承载结构上；激光光纤传感器，包括第一激光光纤传感器和第二激光光纤传感器，以中心对称的方式分别设置在机械臂承载结构和机械臂臂部之间的阻挡件的两端处，其中，用于在待测对象移动过程中，以平行方式朝向待测对象分别发射激光束并相应地接收从待测对象反射的反射光，以根据反射光判断待测对象是

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114199193 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202010987012.3 (22)申请日 2020.09.18 (71)申请人中国科学院微电子研究所