一种屏蔽拉伸和弯曲干扰的柔性压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种屏蔽拉伸和弯曲干扰的柔性压力传感器及其制备方法.pdf

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本发明属于柔性传感器相关技术领域，并公开了一种屏蔽拉伸和弯曲干扰的柔性压力传感器及其制备方法。该柔性压力传感器包括上电极和下电极，其中：上电极和下电极相对设置，上电极与下电极相对的面上涂覆有介电层，下电极与上电极相对的面上设置有多个凸峰，下电极和上电极通过凸峰与介电层粘接；在上电极上与凸峰之间的间隙相对应的位置处设置有褶皱，该褶皱降低拉伸或弯曲时上电极和下电极之间的挤压趋势，从而降低拉伸或弯曲对上电极和下电极形成的电容的影响，排除拉伸或弯曲对柔性压力传感器干扰。本发明解决压力感知过程中三维空间内

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114199419 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111318319.5 (22)申请日 2021.11.09 (71)申请人华中科技大学地址