一种高效率制作光栅的双工位飞秒激光系统.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种高效率制作光栅的双工位飞秒激光系统.pdf

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本发明公布了一种高效率制作光栅的双工位飞秒激光系统，包括激光源、双工位加工模块与控制模块，包括激光源与双工位加工模块之间设有光路传输模块，所述激光源的输出端发出飞秒激光光束，所述光路传输模块内设有能量控制机构、能量检测机构、扩束器、快门、光路切换机构与反射镜，所述飞秒激光光束通过光路传输模块发送至双工位加工模块；本发明采用双工位设计，加工效率高、三维加工精度好,具有三维空间选择性与超高分辨率的优点率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114185121 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111405882.6 (22)申请日 2021.11.24 (71)申请人四川橙科通信技术研究院有限责任