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电池片工艺流程
一、电池片工艺流程:
制绒(INTEX)扩散(DIFF)后清洗(刻边/去PSG)镀减反射膜(PECVD)丝网、烧结
(PRINTER)测试、分选(TESTER+SORTER)包装(PACKING)
二、各工序工艺介绍:
(一)前清洗
1.RENA 前清洗工序的目的:
(1) 去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤)
(2) 清除表面油污(利用HF)和金属杂质(利用HCl)
(3)形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了
PN 结面积，提
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