路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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路径切换组件、具有该路径切换组件的腔室和基板处理系统及其方法.pdf

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描述了一种用于横向地移动载体的路径切换组件(150)。所述路径切换组件(150)包括一个或多个可枢转载体传送元件(152)，所述一个或多个可枢转载体传送元件用于在路径切换方向(S)上将载体(10)从第一运输路径(T1)移动到侧向地偏移的第二运输路径(T2)。另外，描述了一种包括所述路径切换组件的腔室、一种包括所述腔室的处理系统、一种切换载体的运输路径的方法和一种处理基板的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114258584 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 201980099369.3 (51)Int.Cl.