新增生产工具的合格检验方法和检验系统.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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新增生产工具的合格检验方法和检验系统.pdf

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一种新增生产工具的合格检验方法和检验系统，所述检验方法，在获得若干新工具良率数据和旧工具良率数据后，对所述若干新工具良率数据和旧工具良率数据进行数据分析，判断所述若干新工具良率数据和旧工具良率数据是否属于高良率类别或偏高良率类别，若“属于”，则剔除相应的新工具良率数据和旧工具良率数据，剩余的新工具良率数据和旧工具良率数据作为筛选后的新工具良率数据和旧工具良率数据；基于所述筛选后的新工具良率数据和旧工具良率数据，判断所述新的生产工具是否合格。通过前述检验方法，对新增生产工具的合格检验过程标准化和流

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114254682 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202010945285.1 (22)申请日 2020.09.10 (71)申请人长鑫存储技术有限公司