原创力文档- 1、本文档共39页，其中可免费阅读38页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
公开了温度控制的抛光垫。一方面，CMP系统包括使用任何类型的雾化系统来冷却或去除来自CMP系统的抛光垫的能量和/或热量。雾化系统可以使用任何液体介质结合任何压缩气体通过孔口来冷却或去除来自垫的能量和/或热量，从而在CMP期间允许更高的去除速率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114269516 A
(43)申请公布日 2022.04.01
(21)申请号 202080057312.X (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限
您可能关注的文档
- 检测装置、检测方法以及程序.pdf
- 锂离子电池的单元内装置.pdf
- 预防和治疗低血糖.pdf
- 发动机及具备该发动机的液压泵装置.pdf
- 氧化锌烧结体制作用氧化锌粉末及氧化锌烧结体以及它们的制造方法.pdf
- 含研磨用添加剂液体的过滤方法、含研磨用添加剂液体、研磨用组合物、研磨用组合物的制造方法及过滤器.pdf
- 用于在乳糜泻的治疗中使用的胆钙化醇.pdf
- 高频模块.pdf
- 用于侧链路通信的非连续接收操作.pdf
- 摄像元件和摄像装置.pdf
- 阅读2017 sesa aoi一般操作小时ats 1100.pdf
- 文本介绍意大利aoi reggio calabria lido licr.pdf
- 说明德国aoi schwabisch hall lido edty漩涡.pdf
- 圣地亚哥del esto天使la paz aragonezsane理智.pdf
- 课件南非bloemfontein bram fischer fabl寓言.pdf
- 个品牌马模型描述-mas s天才可以型号图库.pdf
- 考虑工作场所负面情绪使用嫉妒调解关系term proposal h.pdf
- 参考分析有效apr.pdf
- 使用软合规或手动不足.pdf
- cactiez中文版正式发布linux高级相关.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载；后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容，完善相关专利服务，助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意！
文档评论（0）