一种超精密空气静压伺服转台.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种超精密空气静压伺服转台.pdf

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本发明公开了一种超精密空气静压伺服转台，包括支撑体、转动体、制动装置、以及力矩电机；所述转动体可转动地安装在支撑体内，所述力矩电机的定子固定在支撑体上，所述力矩电机的转子固定在转动体上；所述转动体包括轴套、下浮盘、设置在轴套上端的上浮盘；所述支撑体上设置有第一压缩气体气路、第二压缩气体气路、的第三压缩气体气路；所述制动装置用于抵顶于转动体上以限制转动体转动。本发明通过压缩气体流经第一压缩气体气路、第二压缩气体气路、第三压缩气体气路，对转动体形成径向、轴向支撑，可避免转动体与支撑体刚性接触，使其具

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114248122 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111570540.X (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人北京海普瑞森超精密技术有限公司