面向半导体晶圆传送机械臂的高速运动控制方法和系统.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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面向半导体晶圆传送机械臂的高速运动控制方法和系统.pdf

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本发明涉及机器人控制领域，具体涉及面向半导体晶圆传送机械臂的高速运动控制方法和系统。该方法为根据晶圆搬运机械臂控制的动作指令进行运动路径的分段，并针对每段运动路径，建立基于多项式的规划模型；采集晶圆搬运机器臂的末端抖动数据，并根据规划模型获得机器臂完成路径运动的变化数据，基于抖动数据和变化数据建立有约束条件的机械臂参数优化方程；通过梯度下降的迭代求解方法对优化方案进行迭反复迭代求解，并保存动作指令加载模型参数；在模型加载应用过程中，根据动作指令加载模型参数和多项式的规划模型，生成机械臂连续运动点

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114211497 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111654255.6 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司