微机械结构和微机械传感器.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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本发明涉及微机械结构及微机械传感器，该微机械结构具有衬底和可相对于衬底运动的震动质量及探测装置和主弹簧。震动质量借助主弹簧与衬底连接。第一方向和垂直于此的第二方向定义衬底主延伸平面。探测装置设置为探测震动质量偏移并具有固定在震动质量上的第一电极和固定在衬底上的第二电极。第一和第二电极在第一和第二方向上具有二维延伸。微机械结构还具有交错的止挡结构，其具有第一、第二弹簧止挡和固定止挡。止挡结构如此构型，使得在震动质量的至少一部分在垂直于第一和第二方向的第三方向上运动超出运行范围时第一弹簧止挡首先机械

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114252652 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111113108.8 (22)申请日 2021.09.23 (30)优先权数据 102020211