一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法.pdf

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本发明公开了一种电子级混酸体系的组分浓度检测方法，混酸体系为包含氢氟酸的已知酸组分的3‑5元强弱混酸体系，其中强酸为选自硫酸和硝酸中的至少一种，包括以下步骤：S1：用氢氧化钠滴定剂酸碱滴定混酸稀释液，通过监测电位变化获得等当点和到达等当点消耗的滴定剂用量，计算滴定剂中和的氢离子浓度；S2：对S1体系依次进行氟离子和硫酸根滴定剂滴定，获得滴定剂用量，计算混酸体系中氢氟酸和硫酸的浓度；S3：结合S1所得氢离子浓度和酸组分pka值分布，计算混酸组分含量参数；或者基于混酸组分含量参数，以S2所得氢氟酸和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114264769 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202111592007.3 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人江阴江化微电子材料股份有限公司