薄膜晶体管及其制作方法、显示面板.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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薄膜晶体管及其制作方法、显示面板.pdf

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本申请提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板；该薄膜晶体管包括半导体层、与半导体层的位置对应设置的栅极、以及设置于半导体层和栅极之间的栅极绝缘层，栅极绝缘层包括第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层，第一栅极绝缘层的介电常数大于第二栅极绝缘层的介电常数。本申请通过设置双层结构的栅极绝缘层，使薄膜晶体管的导电流能力得到提升，相比于目前的薄膜晶体管，在相同尺寸和相同驱动条件下，本申请的薄膜晶体管中的半导体层内可以导通更大的电流，而在导通相同大小电流的条件下，本申请的薄膜晶体管可以实现更小尺寸的设计。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114220865 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111523377.1 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有