薄膜体声波谐振器的制造方法及滤波器.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.24万字
约 19页
2023-05-04 发布于北京
举报
版权申诉

薄膜体声波谐振器的制造方法及滤波器.pdf

1、本文档共19页，其中可免费阅读18页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及一种薄膜体声波谐振器的制造方法及滤波器，包括：形成第一电极、压电层和第二电极；在第一电极、第二电极至少其中之一上形成贯穿相应电极的环形沟槽；在具有环形沟槽的电极上形成具有拱形桥的电极引出结构；在第一电极上形成支撑层；图形化支撑层，形成贯穿支撑层的第一空腔，电极引出结构的拱形桥位于第一空腔范围内；提供第一衬底，遮盖第一空腔；去除环形牺牲凸起形成环形空隙，环形空隙和环形沟槽相对。本发明通过电极引出结构的环形空隙所在的区域界定有效谐振区的边界，并通过环形沟槽使有效谐振区边界处相应电极的端部与

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114257192 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202010995761.0 H03H 9/205 (2006.01)