一种用于功率器件高温高压测试的探针卡.pdfVIP

下载本文档

17
0
约1.12万字
约 11页
2023-05-04 发布于北京
举报
版权申诉

一种用于功率器件高温高压测试的探针卡.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种用于功率器件高温高压测试的探针卡，包括调节单元和探测单元，其中，调节单元包括调节组件和位于调节组件一侧的限位组件，调节组件包括限位板，限位板一侧开设有容纳空间，容纳空间内轴接有调节板；探测单元包括位于限位板另一侧的PCB板，PCB板与限位板固定连接，PCB板上均匀开设有多条第一限位槽；本发明中设置有调节单元和探测单元，通过调节单元中的调节单元和限位组件的配合，使得探针卡能对不同型号的晶圆进行探测的探针和探针所在的安装板进行固定，再通过探测单元对晶圆进行探测，从而解决了现有的用于功

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114252667 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202210071189.8 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人普铄电子（上海）有限公司