增强内部流场的基板容器.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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增强内部流场的基板容器.pdf

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本发明公开一种增强内部流场的基板容器，包含盒体、至少一个偏位充气机构及至少一个气体扩散机构，偏位充气机构设置于盒体的内部容置空间之外，偏位充气机构具有平行底板的气室，气体扩散机构包括底座、隔离墙及至少一个扩散构件，底座罩覆于气室的出气口而形成副气室，隔离墙垂直底板延伸而形成垂直的第一气体通道，第一气体通道连通副气室，扩散构件与隔离墙夹合形成第二气体通道，隔离墙具有至少一个孔隙以连通第一气体通道及第二气体通道。本发明改善了基板容器的流场仅限于底部的问题，增强了基板容器的内部流场，维护基板质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114249029 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202110178628.0 (22)申请日 2021.02.09 (30)优先权数据