一种晶圆生产参数获取方法、装置、设备以及存储介质.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种晶圆生产参数获取方法、装置、设备以及存储介质.pdf

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本公开提供了一种晶圆生产参数获取方法、装置、设备以及存储介质，其中，该方法包括：根据机台中晶圆的位置标识和批次标识在映射表中查询目标晶圆的晶圆标识，根据晶圆标找到对应的生产参数获取计划表，再根据生产参数获取计划表中的各个参数的参数标识，从机台中获取目标晶圆对应各个参数标识的参数值，根据获取的参数值和生产参数获取计划表，生成目标生产参数表。这样，可以快速确定与当前机台中的目标晶圆相匹配的生产参数获取计划表，可以提高获取各个晶圆对应的生产参数的准确率和速度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300392 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111646023.6 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人苏州赛美特科技有限公司