一种衍射光学芯片.pdfVIP

  • 10
  • 0
  • 约1.33万字
  • 约 16页
  • 2023-05-05 发布于四川
  • 举报
本发明公开了一种衍射光学芯片,具有一个实现强度匀化的入射面和一个实现相位匀化的出射面,所述的入射面和出射面外径均为25.4mm且对称设置,是由熔融石英(JGS1)作为基底材料采用激光直写灰度掩膜技术进行的连续面型的制作形成厚度40mm的微纳双面单体结构或微纳四面双体结构,所述的微纳四面双体结构还包含两个间距为38mm的无结构平面。本发明实施例结构简单、设计巧妙、实施方便、具有突出的实质性特点和显著进步,适合大规模推广应用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114296167 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111495207.7 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人 华中光电技术研究所(中国船舶重

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档