2023化学机械抛光垫.docxVIP

PAGE 7 PAGE 6 化学机械抛光垫 目次 TOC \o 1-1 \h \t 标准文件_一级条标题,2,标准文件_附录一级条标题,2, 前??言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 产品分类和型号命名 1 5 要求 1 6 试验方法 2 7 检验规则2 8 标志、包装、运输、贮存3 9 其他3 化学机械抛光垫 范围 本文件规定了化学机械抛光垫的术语和定义、分类和命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以溶剂型聚氨酯、N-N-二甲基甲酰胺为原料，经与非溶剂相转化方法制得