一种动作清除方法和半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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一种动作清除方法和半导体工艺设备.pdf

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本发明实施例提供了一种动作清除方法，该方法包括：在执行当前动作序列时，在出现动作清除触发事件的情况下，生成或接收清除指令；根据清除指令，确定清除对象；清除对象包括半导体工艺设备中的至少一个设备单元；对下发至清除对象的动作序列进行动作清除；针对清除对象，生成更新后的动作序列。根据本发明的实施例，可以提升动作清除的效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114284173 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111471259.0 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人西安北方华创微电子装备有限公司