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阵列基板及其制造方法和显示面板.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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阵列基板及其制造方法和显示面板.pdf

    本申请适用于显示技术领域，提出了一种阵列基板，包括衬底基板、设于衬底基板上的扫描线和信号线，以及设于扫描线和信号线交叉处的薄膜晶体管，扫描线和信号线中的至少一者包括第一金属层和叠设于第一金属层上的第一上氮化钼层。本申请同时提出一种阵列基板的制造方法以及一种显示面板。上述阵列基板中的扫描线和信号线中的至少一者包括第一金属层和设于第一金属层上的第一上氮化钼层，可以增大第一金属层的厚度，降低扫描线和/或信号线的线电阻，以满足高阶产品的需求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300485 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111636849.4 G02F 1/1362 (2006.01) (22)申请日

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