一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置.pdf

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本发明提供一种降低压阻压力传感器非线性误差的方法及装置，方法包括：创建压阻压力传感器的结构模型；为感压膜、横向压阻条及纵向压阻条设置对应的材料属性；根据预设的施压策略向结构模型施加压力，获得结构模型对应的应力云图；基于应力云图调整各压阻条的分布位置，使得各压阻条和分布在应力云图中同一应力梯度内；如此，获得感压膜上的差值应力云图，根据差值应力云图调整各压阻条的分布位置，使得横向压阻条和纵向压阻条分布在应力云图中的同一应力梯度内；使横向压阻条及纵向压阻条之间的应力差异达到最小化，从而降低非线性误差；

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114323366 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202011061671.0 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人中国科学院微电子研究所