一种带有悬空金属屏蔽线的电光硅基调制器行波电极.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种带有悬空金属屏蔽线的电光硅基调制器行波电极.pdf

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本发明公开了一种带有悬空金属屏蔽线的电光硅基调制器行波电极，属于电光调制器领域。包括信号线、第一地平面、光波导、悬空金属屏蔽线和堆叠通孔；所述信号线和第一地平面位于所述光波导上方的同一水平面上；所述光波导通过多个堆叠通孔同时与所述信号线和第一地平面连接；所述悬空金属屏蔽线从所述多个堆叠通孔之间的间隙中穿过，并呈周期性排布。本发明可同时满足阻抗匹配、速度匹配、较低的微波损耗的设计需求，在不需要定制化工艺步骤的前提下对行波电极引入了额外的设计自由度，能够较为灵活地优化行波电极的参数，有效地节约开发成

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114326168 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202011068865.3 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人华中科技大学地址