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本申请公开一种本申请实施例的目的是提供一种电源组件、电源控制方法和溅射设备，电源组件包括第一电源、第二电源、拨码开关和电流测量件，所述第一电源和所述第二电源并联设置，所述第一电源配置为与控制主机通信连接，所述第二电源通过所述拨码开关与所述第一电源主从连接；所述第一电源和所述第二电源的正极接地设置，所述第一电源和所述第二电源的负极均配置为与安装于溅射设备的腔室的靶材电性连接；所述电流测量件配置为与所述靶材电性连接，且所述电流测量件与所述控制主机通信连接，以传输所述靶材的实际电流于所述控制主机。上述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114277341 A
(43)申请公布日 2022.04.05
(21)申请号 202111601804.3
(22)申请日 2021.12.24
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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