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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明属于纳米加工技术领域，涉及一种利用吸水树脂膨胀并行制备大面积金属纳米狭缝的方法，先将粉末状的吸水树脂材料均匀铺在所需基底上，形成稳定的吸水膨胀薄层；再在吸水膨胀薄层表面采用离子溅射技术制备金属纳米薄膜；然后在金属纳米薄膜表面滴加去离子水，实现金属纳米狭缝的大面积并行制备；采用并行加工方式，利用下层树脂材料的吸水膨胀作为驱动力，在上层金属薄膜中制备大面积金属纳米狭缝，整个并行加工过程简单高效、成本低廉、绿色环保、应用前景广阔。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114293161 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111591091.7 C23C 14/16 (2006.01)
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