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- 2023-05-05 发布于四川
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一种氮化铝模板及其制备方法，涉及半导体技术领域。该氮化铝模板的制备方法包括：提供一蓝宝石衬底；对蓝宝石衬底进行刻蚀以在蓝宝石衬底上形成多个纳米凹槽，纳米凹槽的深度小于蓝宝石衬底的厚度；在刻蚀后的蓝宝石衬底上沉积氮化铝材料以形成氮化铝薄膜，得到第一材料，氮化铝薄膜和蓝宝石衬底围合形成纳米孔洞；将第一材料置于退火炉中进行高温热退火处理，且在退火处理后将第一材料降至室温并取出。该氮化铝模板由上述的氮化铝模板的制备方法制备得到。该氮化铝模板的制备方法能够降低氮化铝模板的压应变强度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114293252 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111638544.7 H01L 33/00 (2010.01)
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