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一种对Fab厂设备生产数据文件处理的方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种对Fab厂设备生产数据文件处理的方法及系统.pdf

    本发明涉及智能制造技术领域，公开了一种对Fab厂设备生产数据文件处理的方法，包括：步骤S1.配置设备站点，在设备之间进行生产过账时，产生文件数据并上传至NAS盘，上报过账信号；步骤S2.BC系统将接收到的过账信号上报给MES系统，进行记录和更新信息；步骤S3.在文件处理系统中进行文件建模，在文件模型中配置文件解析规则和文件处理规则，进行执行处理；步骤S4.文件处理系统根据文件模型中的文件解析规则和文件处理规则将制程设备和检测设备的原始文件处理完成后，生成MES统一格式的结果文件，将结果文件上传至

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114297141 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111641386.0 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人 中电九天智能科技有限公司

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