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2023-05-05 发布于四川
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阴极电弧源.pdf

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本发明涉及阴极电弧蒸发设备，其包含：‑靶(3)，其具有包含活性表面(3’’)的靶表面(3’)，在阴极电弧方法中材料能够从其蒸发；‑围绕所述靶表面(3’)的外边界的限制部(4)；‑具有电子接受表面(2’，2’’，2’’’)的阳极(2)，所述阳极(2)在靶平面和所述活性表面前方的轴向距离中的至少一个中包括所述靶(3)和所述限制部(4)中的至少一个；‑磁性引导系统，其适于在所述靶表面处提供基本上平行于所述靶表面的至少外部区域的磁场，使得磁场线平行于所述靶表面或以锐角α向所述靶表面倾斜，在那里在表面(3

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114341395 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202080061854.4 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公