一种柔性薄膜及其制备方法与基于柔性薄膜的传感器.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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一种柔性薄膜及其制备方法与基于柔性薄膜的传感器.pdf

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本发明属于柔性力学传感器以及微机电技术领域，具体为一种表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜及其制备方法，及基于此柔性薄膜制备的传感器，解决了背景技术中的技术问题，柔性薄膜的正面具有均匀分布的多个微米级正四棱锥台结构，正四棱锥台结构的表面辅以多个随机、紧密排列的纳米级凸起结构。本发明的表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜表面具有微纳米级别结构，可有效提升薄膜表面比表面积，利用本发明的三种柔性力学传感器的灵敏度高、微弱压力感知能力强和测量范围广；本发明所述的方法操作步骤简单，而且实施

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114295261 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202210025798.X (22)申请日 2022.01.11 (71)申请人中北