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一种干泵尾管和离子注入机.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种干泵尾管和离子注入机.pdf

    本发明提供一种干泵尾管和离子注入机，所述干泵尾管适用于离子注入机，所述离子注入机中包括干泵以及连接所述干泵的干泵净化管路，所述干泵尾管包括：第一干泵尾管本体、干泵尾管净化管路和排气管路；其中，所述第一干泵尾管本体的一端连接所述干泵；所述第一干泵尾管本体的另一端连接所述排气管路；所述干泵尾管净化管路的进气端连接所述干泵净化管路，所述干泵尾管净化管路的出气端连接所述第一干泵尾管本体。本发明提供的干泵尾管和离子注入机能够减少所述排气管路内的磷源种的浓度，降低所述排气管路受热融化导致机台报警等安全问题，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300330 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111626346.9 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司

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