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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明实施例公开了一种SRAM构造方法,包括传输管构造步骤、阻性连接切断步骤和金属互连步骤;通过在构造工艺中引入阻性连接切断步骤,可将多晶硅导致的电阻进行去除,使电路的对称性改善,避免了多晶硅串联电阻引起的读电流不匹配。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114300011 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111519774.1
(22)申请日 2021.12.14
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
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