多晶硅太阳能电池沉积氮化硅膜的方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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多晶硅太阳能电池沉积氮化硅膜的方法.pdf

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本发明涉及一种多晶硅太阳能电池沉积氮化硅膜的方法，属于太阳能电池生产技术领域。包括：制绒‑将硅片置于多晶制绒清洗机中，利用制绒液与硅片反应，在硅片表面织构化处理制备绒面；扩散‑将制绒后的硅片置入扩散炉，利用低压热扩散法，以液态三氯氧磷作为扩散磷源并通过氮气携带进入炉管，在硅片表面形成PN结；刻蚀‑将扩散后的硅片置入背抛光机台，利用刻蚀液与硅片反应，去除硅片在扩散过程中边缘及背面形成的N型层，并去除硅片正面的磷硅玻璃；镀膜‑将刻蚀后的硅片置入PECVD机台中，在500‑520℃，以石墨舟为载体，真

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114277356 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111590976.5 C30B 31/08 (2006.01)