光学天线、芯片、相控阵激光雷达及探测方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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光学天线、芯片、相控阵激光雷达及探测方法.pdf

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本发明实施例提供了一种光学天线、芯片、相控阵激光雷达及探测方法，该光学天线包括：包括：SOI衬底，两组波导阵列，两组模斑变换器，硅平板，二维光栅阵列及保护层；在SOI衬底中包括两组波导阵列，两组模斑变换器及硅平板；在硅平板上形成二维光栅阵列，保护层位于两组波导阵列，两组模斑变换器及二维光栅阵列的上方；两组波导阵列分别与对应的模斑变换器光路连接，两组模斑变换器分别与二维光栅阵列光路连接；两组波导阵列之间相互正交，两组模斑变换器之间相互正交。在采用该光学天线作为发射天线时，增加了扫描范围。并且采用该

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114325638 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202011056785.6 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人北京万集科技股份有限公司