体声波谐振器、掺杂浓度确定方法、滤波器及电子设备.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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体声波谐振器、掺杂浓度确定方法、滤波器及电子设备.pdf

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本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层；和顶电极，其中：所述压电层为包括掺杂元素的压电层，所述掺杂元素具有对应的掺杂浓度，所述谐振器具有层厚比E/P，所述谐振器具有机电耦合系数Kt2，所述掺杂浓度不小于a1，a1为谐振器层厚比E/P＝0.75时所述机电耦合系数Kt2对应的掺杂浓度。本发明还涉及一种掺杂浓度确定方法，所述掺杂浓度为体声波谐振器的压电层的掺杂元素的掺杂浓度，所述谐振器具有机电耦合系数Kt2，所述谐振器具有层厚比E/P，所述方法包括步骤：基于层厚比E/P，选择所

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114337571 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202011061186.3 (22)申请日 2020.09.30 (71)申请人诺思（天津）微系统有限责任公司