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一种用于半导体单晶炉设备电控提升臂装置.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种用于半导体单晶炉设备电控提升臂装置.pdf

    本发明属于直拉单晶技术领域，具体的说是一种用于半导体单晶炉设备电控提升臂装置，包括提升臂；所述提升臂端部安装有电机；所述提升臂端部靠近电机的位置转动连接有卷丝轴，且卷丝轴由电机驱动；所述提升臂下侧设有取晶吊钩；所述取晶吊钩上端设有钢丝绳，且钢丝绳的另一端穿过提升臂内部并固接在卷丝轴外侧；本发明是在设备本身的提升臂上设置电控取晶提升装置，不需要额外的设备接入即可将晶棒取出，体积小，集成，方便，便于自动化操作，由于电控取晶装置是安装在设备本体提升臂上，本身精度高，提升力大，便于安装，使取晶操作更为安

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114291750 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111496833.8 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人 连城凯克斯科技有限公司

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