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本发明提供了一种热电偶传感器及其制备方法。所述热电偶传感器的衬底内设置有内腔结构和阻挡结构,所述阻挡结构围设于所述内腔结构的开口端部,避免了使用复杂的背面工艺形成背腔,有效降低了工艺成本;通过所述阻挡结构控制所述内腔结构的顶部开口范围,有利于提高集成度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114300607 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111647179.6
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 上海集成电路研发中心有限公司
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