基于MEMS的光声单元.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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基于MEMS的光声单元.pdf

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在第一方面中，本发明涉及一种光声气体传感器，其包括可填充气体的检测腔室和基准腔室，其中检测腔室和基准腔室是侧向上并排布置的并且通过传感器通道相连。存在于传感器通道上或者内的传感器允许测量光声信号。两个腔室都优选地位于垂直于同样包括在内的红外发射器所发射的红外辐射的平面内。除此之外，气体传感器由多层衬底形成。在其它方面中，本发明还涉及一种用于气体传感器的制造方法和一种用于通过气体传感器分析气体的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114286935 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202080060549.3 (74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理