可调节电浆曲线的处理装置.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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可调节电浆曲线的处理装置.pdf

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本发明提供一种可调节电浆曲线的处理装置，包含：一腔体，具有一内壁及一顶部；一喷淋板，固定于所述腔体的顶部；一支撑座，位于所述腔体中以承载一基板，所述支撑座、所述喷淋板和该腔体的内壁定义一处理区域；及一金属环，位于所述喷淋板与该支撑座之间，藉由一隔离手段使所述金属环未暴露于所述处理区域中也未电接触所述腔体的内壁。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114293177 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111674993.7 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人拓荆科技股份有限公司